应该如何防止和处理无尘车间的静电？
静电是无尘车间中最难控制的。静电会增加半导体器件生产中的废品，降低电子设备的可靠性。因此，在半导体器件的生产过程中，所有制造阶段都需要防止静电对器件的作用。
消除静电有很多种方法。针对防静电环境要求的无尘车间装修工程，应采取以下方法来避免：
1.选择适当的材料：
无尘车间装修应采用不易产生静电或静电产生后容易漏出的材料。当各种材料一起使用时，应选择接近电气顺序表位置的材料。所有材料都可以归为导体或电气色边体。导体是电流可以通过的材料，绝缘体是电流不能通过的材料。
2.停业：
接地是带电导体消除静电最普遍、最经济、最简单、最可靠的方法。
(1)对无尘车间可能引起静电危害的设备、液体、气体或粉末管，应采取防静电接地措施。
(2)电子工业洁净室的围护结构(天花板、地面、墙、柱)应采用防静电装饰，以抑制粉尘的带电吸附。
(3)工艺设备接地。
(4)办公设备应由抗静电材料和地面制成。
(5)工作人员应穿着无尘抗静电服装、鞋、帽子、手套、腕带等。
3.中和：
带电体周围的空气(静电)电离后，带电离子在电磁场的作用下迁移，荷电体吸引异性电荷中和和消除静电。静电抵消器是一种能产生电子和离子的装置，能在荷电体上产生电子、离子和异性电荷，从而消除静电、绝缘材料表面的静电和空气中的静电中和。
4.湿度控制：
在众多消除静电的方法中，室内湿度控制也被考虑用来降低和消除无尘车间的静电。通过保持环境较高的相对湿度，在该区域的物体表面会形成一层薄薄的湿气层。摩擦也会降低发电量，一般来说湿度越低，产生的电荷就越多，但数据显示，即使在湿度较高的时候，也会有显著的静电电压，但在高湿环境下，制造商可能会感到很不舒服，零件可能会生锈，造成可焊性问题这个薄层将被用来提供一个导电通道，这样可能产生的电荷就可以流过湿气层来耗散静电荷。此外，薄的湿气层可以增加物体表面的润滑性。同样，试图通过湿度控制来消除静电显然也是昂贵的。
