一、洁净室工程的竣工验收，是在建设单位对工程施工质量进行有效监测并在不承担整个工程分支的生产负荷的情况下，经系统联合试运行、调试和外观质量检验后，按照规定将合格分支工程移交业主的验收过程。
二、洁净室工程竣工验收时，应当对各类竣工验收材料进行检查，一般包括下列文件和记录。
图纸评审记录，设计变更通知和竣工图
工厂合格文件、主要材料、设备、成品、半成品、仪器仪表进口检验报告"。
隐蔽工程验收记录
工程设备、部件、附件、洁净室墙、屋顶、门窗、风管系统和管道系统的安装和检验记录
管道试验记录，高纯度气体和高纯水纯度试验记录
设备单机试运行记录
系统空载联合试运行调试记录
部分质量综合检验记录，包括空气滤清器泄漏检验等。
3.洁净室各部分的外观检查一般包括以下主要内容。
各种管道的安装、净化空调设备、自动灭火装置等，应当正确、严格、牢固，其偏差应当符合有关规定。
各种调节装置、阀门及附件应严格、灵活、易操作
清洁空调设备、风管系统及无尘回风口
洁净室的内壁、屋顶、地面和各种管道的内表面应光滑、光滑、无尘、颜色均匀、地面无静电。
通过洁净室对各种管道和回风口配电柜进行密封是可靠和严格的。
4.按照"洁净室建设验收规范"和国际标准ISO 14644-4"洁净室设计与施工"的有关要求，洁净室工程竣工验收的检验内容如下。
空气洁净度等级的测定(在生物洁净室也应测定漂浮细菌和沉降细菌)
静压差试验
风速或风量试验
风机风量、转数
高效过滤器检漏
温度，相对湿度
气流型
自净时间
亮度测定
抗静电性能的测定
噪声测量
微振动测量
如果洁净室配备了高纯水、高纯度气体等供气系统，则还应根据施工方的要求，对高纯水和高纯度供气管道进行压力测试、泄漏和污染状况，以保证高纯水和高纯煤气使用点的水质和气体纯度要求。
