现行国家标准电子工业清洁厂房设计规范"中关于微振动控制的规定如下：清洁厂房微振动控制装置的设计分阶段进行，包括设计、施工和生产的微振动试验、厂房结构的微振动控制设计、动力设备的隔振设计和精密仪器的隔振设计等。
在设计一对具有微振动控制要求的无尘车间时，应考虑到一对具有微振动控制要求的无尘车间：
1.结构选择、隔振接头设置、面板与地面、屋面的连接应根据微振动控制的要求进行设计。
(2)洁净室及其周围辅助站室及其连接管道的振动强的设备应采取主动隔振措施。
(3)确定无尘车间内外各种振动源对无尘车间精密设备和精密仪器位置的综合影响，以确定是否采取被动隔振措施。
精密设备和精密仪器的允许振动值由生产过程和设备制造部门提供。当生产过程和设备制造部门难以提供允许振动值时，可参考"隔振设计规范"GBJ 22。
精密设备和精密仪器的被动隔振设计必须符合下列条件：
(1)周围振动源对其综合影响的振动数据。
(2)设备和仪器的型号、规格和外形尺寸图。
(3)设备和仪器的质量、质量中心的位置和质量的转动惯量。
(4)设备和仪器底座的外轮廓、附件装置、管道的位置和坑、槽和孔的大小、地脚螺栓和嵌入件的位置等。
(5)设备和仪器的水准要求。
(6)设备和仪器的允许振动值。
(7)选择或设计的隔振器或隔振装置的技术参数、形状尺寸和安装条件。
精密设备和精密仪器的被动隔振设计应考虑：
(1)隔振支座的刚度。
(2)在设备和仪器运行时，隔振平台倾斜的校正措施是由于质量和质心位置的变化引起的。
(3)隔振系统的阻尼比不应小于0.15。
(4)隔振措施不应影响无尘车间的气流形态.
