进入现场前，制造商应按照规定(DOP试验、NaCl试验、喷油试验等试验方法)进行性能试验，并提供合格证书(包括性能试验结果)。
对于5级以上(100级)以上无尘房间的高效过滤器和超高效率过滤器，应在现场再次进行高效过滤体的泄漏试验及其正确的安装状态。该方法还可用于6级及以下生物洁净室的渗漏检测。在大规模集成电路生产的超洁净技术(0.1μm，1级)中，由于新鲜风量往往仅为循环风量的几%，且上层空气被稀释为6级(1000级)，因此有必要重新考虑在这种情况下使用DOP检漏试验的问题。
1.测试要求
一般采用粒子计数法检测泄漏，检测到的高效过滤器必须检测到风量并运行在设计风速的80%至120%之间，许多设计风量小于过滤器额定风量的80%，因为过滤器的漏风比在低风速下会增大，数据是安全的，有时也不需要增加风量。
检测到的高效过滤器空气侧颗粒浓度满足以下要求。
控制粒径≥0.5μm的浓度，必须大于或等于3.5x104pc/L
对于控制粒径≤0.5μm的浓度，必须大于或等于3.5x106~107 pc/L。
2.检测方法
采用扫描法对高效过滤器的安装缝和主断面进行检测，检测点距被测表面20×30 mm，探头以5~20 mm/s的速度移动，对被测过滤器的全断面、密封头和安装框架进行扫描，颗粒计数器的最小采样量大于1L/min。
3.评价标准：
当被测过滤器空气侧的泄漏浓度转化为穿透率时，高效过滤器不应超过工厂合格穿透率的两倍，D级超高效过滤器不应是工厂合格穿透率的3倍。
