无尘房间的温湿度主要是根据技术要求来确定的，在满足技术要求的情况下，应考虑人的舒适度。
温度对生产过程的现场噪声主要是从产品精度和质量的角度来考虑的，另一方面，也是从污染的角度来考虑的，因为温度升高后，会使人出汗，汗水会污染产品。
湿度过大也会引起许多问题，如相对湿度超过55%时，冷却管壁会凝结，如果发生在精密设备或电路中，会引起各种事故，相对湿度在相对湿度为50%时很容易生锈。
此外，湿度过高会使物体表面的灰尘很难清除，但当相对湿度小于30%时，由于静电的作用，粒子也很容易吸附在物体表面。在半导体生产车间，静电会使半导体器件发生故障，因此应在无尘房间内控制温度和湿度。
清洁厂房设计规范"规定，当生产过程没有温湿度要求时，无尘房间的温度为20-26度，湿度为70%。
