1.塑料
塑料作为车间净化地面的主要材料，其优点是光滑、有弹性。与水泥和其他材料相比，塑料不易除尘，清洗起来也相对简单。但其缺点是，其工作人员产生静电，需要配备一定的防静电设施或防静电清洁衣物。塑料在紫外线照射下很容易老化，因此不适合紫外线常用的净化车间。
2.耐酸陶瓷
耐酸陶瓷的耐蚀性主要用于车间净化，但与其他材料相比，其强度明显不足。因此，它不会大规模使用，一般只能生产和使用小范围的腐蚀性介质。而且，这种陶瓷的价格较高，施工过程也更为复杂。
3.水磨石
Terrazzo具有塑料地板的大部分优点，没有它的缺点，但没有弹性。这种材料在车间净化中非常流行，主要是因为水磨石地面非常容易清洁，不容易老化，而且强度足够。
