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无尘净化车间中的温湿度控制要求

2020-09-10 10:29:04 浏览次数:
无尘净化车间主要根据产品需求的生产过程来确定,在满足产品工艺要求时应考虑员工的舒适度。随着无尘净化车间空气清洁度等级的提高,各种工艺对温湿度的要求越来越严格。
 
一般来说,产品的加工精度越高,对温湿度波动的要求就越高,温湿度波动的范围就越小。例如,在一些大型集成电路的光刻曝光过程中,直接使用的材料只有 100 微米。如果环境温度与要求直接相差一度,就会引起几微米材料的偏差。在这种高精度的无尘净化车间中,是一次非常严重的生产事故。因此,这个过程甚至需要保持零下 0.5 摄氏度的温差。
 
此外,一些高精度产品对湿度的要求也很严格。在一些电子元件的生产中,空气湿度将直接影响芯片的质量。在大多数硅产品中,无尘净化车间的湿度范围严格规定在 30-45% 之间。
 
 
 

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