无尘车间验收是在各分厂单机试运行和非生产负荷系统自检后进行的。竣工验收的内容是对各分支工程单机试验运行和无生产负荷系统试验的验证，洁净室(区)性能参数的检测和调试，各部门感知质量的检查和调试，以及按要求进行的功能检查和调试。
(一)无尘车间竣工验收时，应当仔细核对车间竣工验收情况，一般包括下列文件和记录：
1图纸评审记录、设计变更通知及竣工图
(二)各分支工程主要设备、材料、仪器的工厂资质证书和进口检验报告。
(3)各分支工程的单机设备、系统安装及检验记录
(4)各分公司单机试运行记录
5.各部门工程及系统空载的试运行及试车纪录。
6.各类管道的试验和检验记录
(7)每个分支工程安全设施的检查和调试记录
每个分支项目的质量验收记录8份。
(2)无尘车间竣工验收的主要试验内容如下：
1空气流量的目视测量
2风速和风量试验
空气滤清器三漏检测
4洁净室(区)密闭试验
5号房间静压差试验
6空气洁净等级
7自净时间
8温度、相对湿度
9照度值
10级噪音
11项由其他建造商进行的测试工程。
(3)无尘车间的竣工验收合格，经审核批准后，按照要求进行功能验收，功能验收在"静态"试验中进行，主要试验内容如下：
1.测试空气清洁度等级
(二)需要生产工艺的，还应当对特殊表面进行微生物试验、化学污染物试验或者洁净度试验。
(3)洁净室(区)温湿度稳定性试验
(4)自净检测时间
(5)洁净室(区)密实度测试
6.照度的测定
7.测量噪音水平
8确认并记录必要时的气流形式和通风次数
(九)需要进行的其他试验项目。
(四)无尘车间使用验收后，应当编制使用验收报告，其主要内容如下：
1无尘车间各种设施(包括生产工艺设备)的开启状态说明"。
2洁净室(区)人员及其活动测试说明
3分项测试记录和分析意见(包括测试点的位置、坐标等)
(4)测试仪器的有效验证证书
(5)发出有关结论供接受。
