在我国,以芯片生产车间、集成电路无尘车间和圆盘制造车间为代表的电子无尘车间和洁净室(区)不仅严格控制颗粒,而且严格控制温湿度、照度(甚至光源要求)等,以消除静电对生产产品的影响,使环境能够满足清洁环境下电子产品的生产工艺要求。
无尘车间(区)的温湿度应根据生产工艺要求确定,生产工艺无具体要求时,温度可采用20℃26℃,相对湿度30%~70%。人员净化室和家用房间的温度可达16℃。按照符合国际标准化组织标志的国标GB-50073 1-9级标准,风流为单向流动或混合流动,风速为0.2~0.45m≤6,无单向流动,通风频率为50~60/h≤7,通风次数为15~25/h,8~9级为非单向流动,通风次数为10~15次/h。
根据现行规范,电子制造工厂一万级洁净室的噪声水平(空状态)不得大于65 dB(A)。
1.垂直流动洁净室全布比不应小于60%,水平单向流动洁净室不应小于40%,否则应采用局部单向流动。
2.电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10 Pa,不同空气清洁度的洁净区与非洁净区的静压差不应小于5Pa。
3.电子制造业万级洁净室的新风量应作为下列两项的大价值:
4.保持房间正压值所需的室内排气量和新风量之和。
5.确保洁净室内每人每小时的新鲜空气不少于每小时40。