所谓净化工程，就是控制产品(如硅片等)接触到的空气的清洁度和温湿度，使产品能在良好的环境空间中生产和制造。这个空间的设计和建造过程可以称为净化工程。净化工程可分为随机流(TurbulentFlow)和层流(层流)。
1.随机流动
空气从空调箱通过空调箱和洁净室空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由两侧的洁净室隔墙或高架地板返回空气。"气流不是线性运动的，处于不规则的湍流或涡流状态。适用于1000~100000级洁净室.优点：结构简单，系统建设成本低，扩大洁净室相对容易，在一些特殊用途场所，可采用无尘工作台来提高洁净室的档次。缺点：湍流引起的细小粉尘不易在室内飘浮，容易污染加工产品。此外，如果系统停止运行并重新启动，通常需要很长时间才能实现需求的清洁。
2.层流
层流气流运动成一条均匀的直线，空气通过100%的过滤器进入房间，并通过高架地板或两侧隔板返回到空气中。这种类型适合在较高环境中使用的洁净室等级，其洁净室等级一般为1~100级。可分为两种类型：
主要研究结果如下：(1)水平层流：水平气流从过滤器向一个方向吹出，从对面壁面的回风系统返回空气，粉尘沿风向在室外排放，下流侧的污染一般更为严重。Www.jnjk.com层流罩
优点：结构简单，运行后可在短时间内稳定。缺点：施工成本高于随机流，室内空间不易扩大。
(2)垂直层流：房间的天花板完全覆盖超低功率滤清器，空气从上至下吹气，可获得较高的清洁度。过程中产生的灰尘或工作人员可在室外迅速排出，而不影响其他工作区域。
优点：易于管理，能在运行开始后的短时间内达到稳定状态，不容易受到操作状态或操作人员的影响。随机流缺点：施工成本高，弹性使用空间大，吊架占用空间大，维修更换滤清器比较麻烦。复合式(MixedType)：复合式是将随机流和层流相结合，可以提供局部的超洁净空气。
