电子无尘车间的显著特点是占地面积大,在装修前必须明确无尘车间的标准和布置知识。电子无尘车间的标准不应大于噪声级(空态),每小时新风量不应小于每立方米40次,但要达到这些标准,应特别注意设备的布置。
一、电子无尘车间标准
1.电子制造厂一万级洁净室的噪声级(空态):不应超过65 dB(A)
二、垂直流动洁净室全布比不应小于60%,水平单向流动洁净室不应小于40%,否则为局部单向流动。
3.电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10 Pa,不同空气清洁度的洁净区与非洁净区的静压差不应小于5Pa。
四、电子制造业一万级洁净室的新风量应是以下两项之一:
5.补偿室内排气量及维持房间正压值所需的新风量之和。
6.洁净室内每人每小时的新风量不少于每立方米40。
ii.电子无尘工场的布置
主要结果如下:(1)平面由工艺决定,电子工业清洁厂房的工艺布局应适应电子产品开发的灵活性,满足产品生产工艺改造和扩展的需要。
(2)主体结构应采用大空间大跨度柱网,不应采用内墙承重体系。
(3)大型电子工业清洁厂房中常采用"夹层"结构,即上层技术层和下层技术层的多层结构。
(四)考虑大型生产过程设备的安装和维护要求,设置不影响清洁生产环境的必要运输渠道和安装港口或检查维修港。
(5)电子工业无尘车间按二级耐火等级设计。
(6)特种气体的储存和分配应与无尘车间(区)分开,墙的耐火极限不应小于1H。有毒硅烷或其混合气瓶的储存面积应至少三面开放,钢瓶与周围结构或栅栏之间的距离应大于3M,储存区域内设置的遮阳篷不得小于350万。
(七)电子工业无尘车间的装饰材料,不得使用释放对电子产品有影响的物质的材料。
(八)电子工业的无尘车间,与一般的无尘车间不同,允许送风室,吹风室应与洁净室更衣室相邻,单人淋浴房设计最多可容纳三十人,员工超过五人时,应有侧门,人数过大或为了缩短通关时间,也可以设置隧道爆破室。
(9)对于高水平无尘车间,为了尽量不影响气流的单向和平行性,灯、灯都是净化的泪形灯和灯笼。
(10)电子工业无尘车间经常根据生产过程的要求建立防静电环境,以抑制静电的产生,快速、安全地去除产生的静电。
(11)电子工业无尘车间对微振动有特殊要求,在工厂环境中应避免产生振动源。
(12)除供水及排水的一般规定外,电子工业无尘工场的超大规模集成电路亦有水的使用标准。