净化工程各级空气洁净度的空气净化处理均采用一级、中效、高效空气过滤器。10万级空气净化处理可采用亚高效空气过滤器代替高效空气过滤器。
空气过滤器的选择、布置和安装应符合下列要求：初效空气过滤器不应选用油浸式过滤器；中效空气过滤器应集中在净化空调系统的正压段；高效空气过滤器或次高效空气过滤器净化空调系统末端应设置过滤器，高效空气过滤器的安装方式应简单、可靠，便于检查泄漏和更换；应根据额定风量选择中效、亚高效、高效空气过滤器；同一净化车间应设置阻力和效率相近的高效空气过滤器。
在确定集中或分散式净化空调系统时，应综合考虑生产过程的特点和净化车间空气的洁净度水平、面积和位置。当生产过程连续、无尘室或净化车间面积较大时，位置集中、噪声控制和振动控制要求严格的洁净室应采用集中净化空调系统。
净化空调系统需要电加热时，应选用管式电加热器，其位置应布置在高效空气过滤器的上风侧，并应有防火安全措施。
送风机可根据净化空调系统的总送风量和总阻力值选择，中高效空气过滤器的阻力按初始阻力的两倍计算。
除直流系统和带值班风机的系统外，还应采取防倾倒措施，防止室外污染空气通过新风口进入净化车间。
净化空调系统的设计应合理利用回风。当工艺过程中产生大量有害物质，局部处理不能满足卫生要求，或对其他工序有害时，不得使用回风。
