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无尘车间设计的要求

2020-10-10 15:37:45 浏览次数:
电子洁净室的设计以芯片消耗车间、集成电路洁净室和磁盘制造车间为基础。除了严格控制颗粒物外,温度和湿度也是控制的。照明(甚至对光源的要求)、微震等要求更为严格,消除了静电对消费品的影响,使环境符合消费者对电子产品工艺要求的清洁环境。
 
洁净室(区)的温湿度应根据消耗工艺要求确定。在使用过程中无特殊要求时,温度可按20~26℃使用,相对湿度为30%~70%。人员净化室和客厅的温度可在16~28℃之间使用,根据符合国际ISO标志的中国国家标准,洁净室(区)的洁净度等级为1~9级,电子洁净室(区)的气流形式为1~5级。6层气流形式为非单向活动,换气次数为50~60次/h;7级气流形式为非单向活动,换气次数为15~25次/h;8~9级气流为非单向气流,换气次数为10-15次/h,通过洁净室(区)天花板的各种开孔的气密性是保证洁净室(区)清洁、避免污染的重要措施。洁净室和吊顶结构的平面度控制,取决于龙骨接头的测量。准确度和程度要逐个测量。龙骨下平面调整后,整个钢丝吊的长度应保持在正常偏差范围内。屋面外围应与墙体紧密连接,接缝处应平整、密封良好。吊顶高度为,板间间隙应符合设计要求。按“标准”规定,各板间隙允许误差不超过0.5mm,密封胶应均匀密封。根据洁净室建设的理论,上述规则是可行的,是可以实现的。

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