由于无尘车间臭氧的三氧原子非常不稳定，在净化车间使用臭氧时，臭氧的氧化能力很强，杀菌能力很强。臭氧是一种有效的杀菌剂。一般来说，臭氧的半衰期约为20分钟。臭氧氧化消毒大约30分钟时，空气中的其他过剩氧原子将发挥作用，形成氧分子，不会产生任何有毒残留物，从而解决消毒后的二次污染问题。这也有助于增加室内空气中的氧气含量。
它在除臭、除臭、除臭等方面有很强的有机气味。在无尘车间，臭氧有助于改善空气质量.如果空气中的臭氧含量超过一定范围，就会对细菌、病毒等微生物的内部结构造成强烈的氧化损伤。在一定浓度和相对封闭的环境中，臭氧的扩散速度非常快且均匀。杀灭车间内的细菌只需一个小时，同时也可以克服紫外线杀菌时会忽略许多死角的问题，整个过程都可以在没有死角的情况下进行真正意义上的消毒。
将臭氧循环消毒进入空调系统，可以减少无尘车间空气中的悬浮颗粒，从而改善空气的清洁度，延长净化设备的使用寿命。在降低运行成本方面，没有与臭氧消毒相比的消毒方法。
