每立方米不超过0.5微米的粉尘量将控制在3500以下，达到国际A级无尘标准。目前，芯片级生产和加工中使用的无尘标准高于A类，这样的高标准主要用于一些高档芯片生产，粉尘量严格控制在每立方米1000米以内，这在业界通常称为1000级。
1000级无尘车间的标准，细尘的数量严格控制在每立方米1000粒以内，这是工业1000级无尘车间的含义。(1000级是指每立方英尺内不超过1000粒大于或等于0.5)。
无尘车间等级标准分级清洁度等级标准ISO 14644根据悬浮颗粒浓度指数划分洁净室(区)及相关的受控环境空气洁净度等级，只考虑0.1μm~0.5μm范围内的粒度限制(下限)，按粒度可分为常规颗粒(0.1μm~0.5μm)、超细颗粒(<；)、0.1μm和宏观颗粒(>；)和5.0μm。
