1.100,000级无尘车间地面应整整齐齐、平整、耐磨、耐冲击、不易积聚静电、易除尘、易清洗，地面垫层应加固，潮湿地区应进行防潮处理。
2.在10万级无尘车间的建筑围护面积和室内装饰中，应选用气密性好、变形小的材料。100,000级无尘车间厂房的墙壁和天花板表面应光滑、光滑、无裂纹、连接紧密、无颗粒。
3.100,000级无尘车间的墙体和屋顶表面应光滑、光滑、无裂纹、界面致密、不脱落，且应具有抗清洗、耐酸碱、防墙、防地面、防顶板的弧形，在使用轻材料熔化时，应采取防碰撞措施。
4.当技术夹层为轻型天花板时，应设置维修通道，建筑风管和回风沟的室内表面装饰标准应适用于整个回风系统，便于除尘。
5.在10万级无尘车间的建筑围护面积和室内装饰中，应选用气密性好、温湿度作用下变形小的材料。
