随着生活水平的提高，人们对产品质量提出了越来越严格的要求。因此，无尘车间生产厂家对车间设计的各个方面都提出了更高的要求，尤其是在湿度方面，也有严格的要求。
业内人士可能会明白这一点：高湿度实际上减少了无尘电子车间表面静电电荷的积累，这是人们所希望的结果；较低的湿度更适合电荷积累，并成为静电释放的潜在破坏性来源。
因此，当相对湿度超过50%时，静电开始迅速消散，但当相对湿度小于30%时，它们会在绝缘体或不接地的表面上持续很长时间。
相对湿度在35%到40%之间可以说是一个令人满意的妥协，半导体无尘车间、洁净室一般使用额外的控制装置来限制静电电荷的积累。许多化学反应的速率，包括腐蚀过程，都会随着相对湿度的增加而加快。所有暴露在无尘车间和洁净室周围空气中的表面都被至少一层水迅速覆盖。当这些表面由能与水反应的薄金属涂层组成时，高湿度会加速反应。幸运的是，一些金属，如铝，可以与水形成保护性氧化物，防止进一步氧化；但也有其他不具有保护作用的情况，例如氧化铜，在高湿度环境中，铜表面更容易受到腐蚀。
