1.净化工程的工艺布置和设计应符合下列要求：
1.布局合理紧凑，洁净室或洁净区域只配备必要的工艺设备、工艺和具有空气清洁要求的工作场所。
2.在满足生产技术要求的前提下，洁净室或空气清洁度高的洁净区应靠近空调房，集中布置空气洁净度相同的工艺车间和车间，并在洁净区人口附近布置空气清洁度低的车间。
3.在净化工程中，上层空气侧设有空气清洁度高的工艺，在回风口附近设置了易造成污染的工艺设备。
4.净化工程应考虑大型设备安装和维修的运输路线，并应保留设备的安装和维修港。
二.净化工程的振动控制
1.对振动较大的设备应采取主动隔振措施，如净化工程和通往洁净室的辅助站和管道(包括泵等)。
2.对于净化装置内外的各种振动源，应测量综合振动对净化装置的影响。在条件有限的情况下，也可根据经验对综合振动效果进行评估，将精密设备和精密仪器的环境振动允许值与精密设备和仪器的环境振动允许值进行比较，以确定必要的隔振措施。
3.精密设备和仪器的隔振措施应考虑净化工程中减少发生和保持合理气流分布的要求，在采用空气弹簧隔振平台座椅时，应对气源进行处理，使其达到净化项目的空气洁净度水平。
