所谓洁净室净化工程，就是控制产品（如硅片）所接触的大气的清洁度、温度和湿度，使产品在良好的环境中生产和制造。这个空间的设计和施工过程可以称为净化工程。它可分为混沌流型和层流型。
1、 湍流型
空气从空调箱经洁净室内的风道和高效空气过滤器进入洁净室，从洁净室两侧的隔墙板进入洁净室地板回风。流动是非线性的，呈现不规则的湍流或漩涡状态。此类型适用于1000-100000级。优点：结构简单，系统建设成本低，便于扩大洁净室，在一些特殊使用场所，还可以采用无尘工作台，提高洁净室的档次。缺点：室内漂浮湍流产生的粉尘颗粒不易排出，易污染染色工艺产品。此外，如果系统停止并重新启动，则需要相当长的时间才能达到所需的清洁度。
层流空气以均匀的直线流动。空气通过有盖过滤器进入房间，然后通过高架地板或两侧的隔墙返回。适用于要求高的洁净室。一般洁净室等级为1-100。它可分为两种类型：
（1）水平层流：水平空气由过滤器向一个方向吹出，由对墙回风系统返回。下游扬尘随风排放，室外污染普遍严重。
优点：结构简单，运行后短时间内稳定。缺点：成本高于湍流型，内部空间不易扩展。
（2） 垂直层流式：房间屋顶覆盖ULPA过滤器，空气自上而下吹气，洁净度更高。在不影响其他工作区域的情况下，工艺或人员产生的粉尘可迅速排出房间外。
优点：易于管理，运行初期在短时间内稳定，不易受运行状态或操作人员的影响。
缺点：施工成本高，弹性空间使用困难，吊顶吊杆占用空间，过滤器维护更换麻烦
