100级净化车间标准:大于或等于0.5μm的细颗粒数超过350个粒子/m3(0.35个粒子/L)到不超过3500个粒子/m3(3.5个粒子/L);大于或等于5μm的细颗粒数为0。相对而言,10万级和1000级是较低的清洗标准,而100级洁净净化车间是较高级别之一。此类生产车间主要用于电子设备制造等高精度领域。
百级净化车间旋风除尘方式为层流式。气体以均匀的横截面速度沿平行平面沿流线主题运动。它不同于流体力学中对层流的定义。实际上,它是直层和流动侧的送风。与100级以上净化车间采用的混流或漩涡模式(即气体以不均匀的速率呈现非平行平面流线主题活动)相比,具有功效完全、工作舒适稳定、粉尘积聚和再悬浮极少、解决简单等权益。但是机械设备的工程造价很高,维修费用也很高。
百级生产车间清洁度高。机械设备的温度、环境湿度、排风量、压差、排风系统可按要求进行控制。净化室截面的光强和风力可根据设计方案或标准进行控制。此外,此类净化室对静电感应有严格的规定。其中环境湿度要求较高。在工业车间,由于干燥过度,容易引起静电感应,导致CMOS集成电路的破坏。一般来说,电子器件工业车间温度控制在22℃,空气湿度控制在50%-60%之间(独特的净化车间有相应的温湿度要求)。
生产车间清洁度:大于或等于0.1μm的较大颗粒数不超过100个。压差和温湿度:温度22℃±2;环境湿度55%±5;基本要求全氟橡胶,采用高架地板。制定Mau+FFU+DC管理系统。还有持续正压,保证相邻房间的渗透压力在10Pa以上和以下
100级净化车间换气量为:10万级≥15次;10000级≥20次;1000级≥30次;100≥500次。光照强度:由于洁净室的大部分工作内容都有详细的规定,而且都是密闭的,所以对照明灯具的要求总是很高的。