无菌室，又称无尘洁净室
一、无尘洁净室是指在一定的空间范围内，从空气中排放微粒、细菌等污染物，以及室内温度、洁净度、室内压力、气流速度和气流分布、噪声振动、照明、静电在一定要求范围内的排放，无尘洁净室是专门设计和建造的。
第二，无尘洁净室的原理。洁净室是使用高效空气净化设备，其除尘率为99.97%，所以用这种过滤器过滤的空气可以说是非常干净的。然而，除了人外，洁净室里还有机器等尘埃源。一旦灰尘扩散，就无法保持干净的空间，因此有必要利用气流迅速排出外部的灰尘。
第三，三间无尘洁净室内的灰尘。无尘洁净室有三条原则：禁尘、携尘和产尘.空气淋浴房作为进入洁净室的缓冲通道之一，是控制粉尘的净化设备之一。它可以大大减少因员工进出无尘洁净室而造成的污染问题。风淋浴房的两扇门采用电子联锁，可同时充当气门室，防止外部污染和未净化的空气进入无尘洁净区，满足生产车间的生产清洁环境要求。
第四，无尘洁净室的主要功能是控制产品(如硅片等)接触到的空气的洁净度和温湿度，使产品能够在良好的环境空间中生产和制造，我们称之为无尘洁净室。按照惯例，无尘净化水平主要是以每立方米空气中粒径大于分度标准的颗粒数为依据的。也就是说，所谓的无尘并不是没有一点灰尘，而是控制在一个很小的单位。当然，与普通粉尘相比，符合本标准中粉尘标准的微粒已经很小，但是对于光学结构来说，即使是少量的尘埃也会产生很大的负面影响，所以在光学建筑产品的生产中，无尘是必然的要求。
五、每立方米粒径小于0.5微米的粉尘量控制在3500以下，达到无尘标准。目前，芯片级生产中使用的无尘标准高于主要用于一些高档芯片生产的无尘标准。粉尘量严格控制在每立方米1000粒以内，这在业界通常称为1K级。
