净化工程：洁净室的等级划分及领域划分

  净化工程：洁净室的等级划分及领域划分

  洁净室（cleanroom）这个名词和概念源于18世纪六十年代的欧洲医学，当时的理解仅限于经喷洒消毒后可以控制创部感染率的处置室、手术室这类灭菌处理的工作环境。现代洁净室虽然延用了这个名词，但在定义和内涵上都与原有的概念有根本的不同，现代洁净室形成一项专门技术，其历史不过只有半个世纪。随着科技的发展洁净技术（cleanroom）是适应实验研究与产品加工的精密化、微型化、高纯度、高质量和高可靠性等方面要求而诞生的一门新兴技术。 本文主要从洁净室的等级标准、领域划分、等级要求几个方面讲述粒子计数器在洁净室的检测作用。

  洁净室等级标准

  洁净室等级标准和国际标准ISO 14644一样,都是根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室（区）及相关受控环境中空气洁净度的等级，并且仅考虑粒径限值（低限）在0.1um～5.0um 范围内呈累积分布的粒子群。根据粒子径，可以划分为常规粒子（0.1um～5.0um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。

  洁净室的领域划分

  洁净室的划分是以单位体积内所含灰尘数来计算的，数目越小表示洁净等级越高，一般每一级的划分都有不同直径灰尘数的要求，比如一般药厂、汽车4s店，十万级或万级就够了，但这对电子行业（尤其是微电子行业）仅仅是最低要求，比如半导体行业等级要求最低的间一般都不能高于1万级。下面我们通过工业无尘室详细了解一下。

  依据美国联邦政府颁布的标准，可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸为0.5m，例如，1级、10级、100级无尘室最大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗。并且通过FS209E标准划分，每立方英尺里面允许含有最多的0.5微米尘埃粒子的数量就是洁净室的等级，比如每立方英尺允许含有最多1000个0.5微米的例子，那么这个洁净室就是千级，如果是10000个粒子就是万级，总共是从一级，十级，百级，千级，万级到百万级；工业无尘室主要控制无生命微粒对工作对象的污染，其内部一般保持正压，它适用于精密工业、电子工业、航天工业、化学工业、印刷工业等部门。工业无尘车间只要控制参数是温度、湿度、风速、流场、洁净度。因此为了满足净化车间内的洁净度及热湿平衡，需要较大的送风量，300平方米的车间，高度为2.5米，如果是万级，就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量（换气次数是≥25次/h）；如果是十万级，送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h（换气次数是≥15次/h）。此外为保持无尘室的洁净度，进出的人员有一定的穿著规定；10000与100000级，必须穿著长袍无尘衣、无尘鞋、戴帽子与面罩；1000级(含)以上，需穿著特殊的洁净连身衣、无尘鞋将全身裹住，并戴上手套和面罩。所以每间洁净室都配有高效空气颗粒物 （HEPA） 过滤器，防止空气传播生物与病毒生物的传播。过滤器还采用了正压设计，将未过滤的空气隔离在房间外部，同时风淋室可在工作人员与产品进入房间前去除沾染的颗粒物。洁净室的审核维护流程包括对微生物的计数，确保符合洁净度和生物负载水平的要求。