无论外界空气条件如何变化，洁净室都能保持原有的洁净度、温度、湿度和压力性能。
无尘室的主要功能是控制接触产品（如硅片）的空气的清洁度、温度和湿度，使产品能够在良好的环境空间内生产和制造。这个空间叫做无尘室。根据公约，无尘净化的水平主要取决于每立方米空气中直径大于划分标准的颗粒数。也就是说，所谓无尘，不是说没有灰尘，而是控制在一个很小的单元里。当然，与我们常见的粉尘相比，本标准中符合粉尘标准的颗粒是非常小的，但是对于光学结构来说，即使是一点点粉尘也会产生非常大的影响，所以在光学结构产品的生产中，无尘化是必然的要求。
如表所示，将粒径大于0.5μm的微尘量控制在3500/m3以下即可达到无尘标准。在芯片级生产加工中应用的无尘标准需要粉尘。如此高的标准主要用于一些高档芯片的生产。粉尘量严格控制在每立方米1000度以内，这在业内俗称1K级。
