为了检查净化车间的正常运行，其中一项试验是检查室内空气流量。这是整个测试程序的一部分。为了稀释或消除室内悬浮污染，防止室内污染物的积聚，室内必须有足够的空气流量。所以必须检测气流。
这两种方法都是在无尘室里进行的。为了保证污染物的清除，无尘车间的各个部位必须实现良好的空气混合。在单向流净化车间，为保证关键区域达到洁净水平，送风直接来自过滤器。
净化车间的温湿度主要根据您的加工工艺要求而定。在满足加工工艺条件下，首先要考虑人的舒适性。随着空气洁净度要求的提高，工艺对温湿度的要求也越来越高，必须达到一定的温湿度水平。例如，在大规模集成电路生产的光刻和曝光过程中，作为掩模材料的玻璃和硅的热膨胀系数的差别越来越小。对于直径为100um的硅片，温升1度将导致0.24um的线性膨胀。因此，有必要保持±0.1度的恒定温度。同时，湿度值普遍偏低。出汗后，产品会受到污染，特别是在半导体车间，怕钠。这种车间温度不应超过25℃。高湿度会导致更多问题。当相对湿度大于55%时，冷却水管壁会发生冷凝。如果发生在精密器件或电路中，会引起各种事故。相对湿度为50%时易生锈。
