控制温湿度在无尘清洁工程中的重要性,为什么要控制清洁项目的温湿度呢?很多朋友都不太清楚,这里的编辑给大家介绍一下,控制温湿度的主要原因是为了防止污染,温度太高,导致人出汗,一旦出汗,就会污染产品,所以温度控制是非常重要的。湿度过大也会造成很多问题。让我们详细解释一下。
当相对湿度超过55%时,冷却水管壁会结露,如果发生在精密装置或电路中,会造成各种事故。 相对湿度50%时容易生锈。 此外,当湿度过高时,硅片表面的灰尘会被空气中的水分子化学吸附在表面。 相对湿度越高,附着力越难去除,但当相对湿度小于30%时,由于静电力的作用,粒子容易吸附在表面,大量半导体器件容易击穿。 用于硅片生产*良好温度范围为35-45。
我国明确规定洁净室内的空气压力:
对于大多数清洁空间,为了防止外部污染的入侵,必须保持内部压力(静压)高于外部压力(静压)。维持压差一般应遵循以下原则:
1.清洁空间的压力高于不清洁空间的压力。
2.高洁净度空间的压力高于低洁净度空间的压力。
3.洁净室之间的门应向高度清洁的房间敞开。