根据国际惯例,无尘净化水平主要根据每立方米空气中粒径大于分区标准的颗粒数量来确定。换句话说,所谓的无尘不是100%没有少量灰尘,而是控制在一个非常小的单元中。当然,与我们的普通粉尘相比,本标准中符合粉尘标准的颗粒非常小,但即使是一点点粉尘也会对光学结构产生非常负面的影响。因此,无尘是光学结构产品生产的必然要求
每立方米小于0.5微米的细粉尘量控制在3500以下,已达到国际无尘a级标准。目前,芯片级生产加工所采用的无尘标准对粉尘的要求高于A级,该高标准主要用于一些高级别芯片生产。微尘量严格控制在每立方米1000以内,这在行业中通常被称为1K级
以下是无尘车间需要了解的净化参数:
1。隔间、天花板材料和天花板高度
2。地板材料
3。是否有恒定的温度和湿度
4。是否需要通风
5。车间的总人数
6人。车间工艺设备的加热能力
及一系列参数
10万无尘车间的标准为:
最大允许粉尘数量(每立方米)
大于或等于0.5微米的颗粒数量不得超过3500000,大于或等于5微米的颗粒数量不得超过20000
最大允许微生物数量
浮游细菌数量不得超过每立方米500
沉降细菌数量不得超过每培养皿10
压差:相同清洁度的洁净室压差应一致。不同清洁度的相邻洁净室之间的压差应为≥ 5pa,洁净室和非洁净室之间的应为≥ 10Pa
当10万级无尘车间对温湿度无特殊要求时,宜穿干净舒适的工作服,冬季温度一般控制在20~22℃;夏季24~26℃;波动±2℃。洁净室的湿度冬季控制在30-50%,夏季控制在50-70%
配电:无尘车间(区)内主要生产用房的总照度值应为≥ 300lx;辅助工作间、人员净化和材料净化间、气闸室、走廊等的照度值应为200~300lx
噪声控制
I。在动态试验期间,10000级无尘车间的噪声级不得超过70dB a
2,10000级湍流无尘车间的噪声级不应大于60 dB a
空气分配? 10万级无尘车间
1主要送风方式。局部孔板屋顶送风
2。带扩散器的高效空气过滤器的天花板送风
3。有三种送风方式,如上侧墙送风
回风方式主要用于10万无尘车间
1。在一侧墙的下部设有回风口;2.采用走廊回风时,回风口应均匀布置在走廊内或集中布置在走廊末端
送风口风速:M/s:
1。孔板孔3~5
2。侧送风口:
(1)附风2~5
(2)未附风的回风在同侧墙下部为1.5~2.5,在对侧墙下部为1.0~1.5
回风出口风速(M/s):?1.洁净室回风出口不大于2
2。走廊内的回风出口不得大于10万级无尘车间进出人员的4
标准操作规程? 1目的? 建立进出10万级无尘车间人员的标准操作规程,确保无尘车间不受人员污染
2范围? 10万名无尘车间人员,包括生产操作人员,维护人员和管理人员
3职责
3.1所有进出10万无尘车间的人员应负责本操作程序
3.2无尘车间组长和现场质量控制员负责监督和检查
4内容
4.1进入无尘车间大门并放下雨具和物品在指定位置
4.2更换拖鞋。在换鞋处,坐在鞋凳上,脱下家用鞋,放入鞋柜,旋转180度,拿出鞋柜上层的拖鞋,穿上
4.3换工作服。进入综合工区办公室,脱下员工休闲服,换上工作服
4.4洗手。按照洗手流程洗手
4.5更换工作鞋。进入换鞋间的门,坐在水平凳子上,面向门,脱下拖鞋,将拖鞋放入鞋柜的下层,从鞋柜的上层取出工作鞋,坐下并旋转180度,将背部放在门上
4.6洗手并用洗手盆中的水将双手湿润至手腕以上10厘米,用洗涤剂清洗,使双手和手腕上方10厘米处的皮肤充满泡沫,并摩擦约15秒
4.6.2用水洗手,冲洗手上的大米,上下转动双手,揉搓至不油腻为止
4.6.3用眼睛检查双手是否干净
4.6.4将手掌伸至烘干机下方8~10cm处,并将手烘干
4.7更换干净的内衣。脱下工作服,放进个人储物柜。从第一班更衣室墙上的挂钩上取下工作帽、工作服、工作裤及个人编号,并更换。从上到下穿,即先戴帽子和口罩,然后穿外套,然后穿裤子。注意把外套紧紧地系在裤兜里,把所有的头发塞进帽子里,检查衣服和帽子是否整齐
4.8洗手消毒
4.8.1用洗手盆里的水将双手湿润到手腕以上10厘米,用洗涤剂清洗,让双手和手腕以上10厘米的皮肤充满泡沫,搓15秒左右
4.8.2用水洗手,用手上的大米冲洗干净,上下转动双手,直到感觉不油腻为止
4.8.3用眼睛检查双手是否干净
4.8.4消毒。将手浸入手腕上方10厘米处的氯消毒液中30秒
4.8.5将手掌伸至烘干机下方8~10厘米处,并将手干燥
4.9穿连体衣服。从衣柜里拿出带有个人号码的连体衣。从下到上穿上。注意不要让连体衣接触地面
4.10消毒。推门进入缓冲室,双手置于装有75%乙醇的自动感应喷雾下,用喷雾消毒,双手放下,让乙醇干燥
4.11进入无尘车间。打开缓冲室门,进入无尘区
4.12离开清洁区的人员应遵循进入清洁区的相反程序。拖拉工作服时注意从下到上剥落
4.13外来人员必须经工厂批准,在车间管理人员的指导和监督下,按规定程序进入无尘车间。外来参观人员必须严格遵守车间的无尘管理规定。生产过程中,外国访客不得进入无尘车间。