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什么是洁净室?

2020-08-18 15:57:22 浏览次数:
洁净室,又称洁净室或洁净室。洁净室是指在一定的空间范围内清除空气中的颗粒、有害空气、细菌和其他污染物,以及室内温度、清洁度、室内压力、气流速度和气流分布、噪声振动和照明、静电控制在一定的要求范围内,并给出专门设计的房间。也就是说,无论外部空气条件如何变化,室内都能保持原有的洁净度、温湿度和压力等特性。

洁净室的主要功能是控制与产品(如硅片等)接触的空气的清洁度和温湿度,使产品能在良好的环境空间中生产和制造,我们称之为洁净室。

洁净室等级:世界各国都有自己定义的规格,但一般采用美国联邦标准209。美国联邦标准FS209D是基于英国每立方英尺,而日本是公制,即每立方米和0.1μm微粒子。日本标准由1级、2级、3级8级代表。日本标准以1级、2级、3级8级为代表,如果高等级为1级,较低标准为8级,则可通过取其指数来获得10在每立方米尘埃颗粒总数中的功率功率。

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