在电子无尘车间净化工程中，现有的空气净化装置主要包括回风风管、送风管、空调和空气净化器，回风管的出风口与空气净化器的进气端相连，空气净化器的出风口与空调的进气端相连，空调的出风口端与送风的进风口相连，外部空气通过空气净化器净化后通过空调冷却，然后通过送风管进入和离开无尘车间。由于回风管只通过一个回风口，无尘车间每个角落的空气净化不均匀，造成整个电子无尘车间的空气洁净度达不到万千级的要求。
目前，在万级电子无尘车间净化工程的施工过程中，采用了一种新的空气净化装置，在回风管中设置了多个回风分支，每个回风分支管的入口端设有一个进气箱，使电子无尘车间各个角落的空气净化统一，有效地克服了现有技术的缺陷，整个电子无尘车间的空气洁净度可满足万千级的要求。
