他说:"无尘工场对洁净室的需求,以及无尘工场对洁净程度的要求,视乎洁净室技术的性质而定。"在这方面,必须考虑到产品、工艺和人员所需的保护程度,以及所有其他部件的整体清洁要求。从现实的角度看,要全面控制特定环境的污染,必须控制室内通风的数量,控制房间内的温湿度,控制房间与相邻房间的压差,控制室内颗粒浓度,控制室内使用的建筑材料和设备,控制微生物的数量,控制所用衣物的污染程度和通风过滤器的数量。其他需要考虑的因素包括:人员健康、设备选择、人员流动和物流渠道。
空气处理系统洁净室的通风一般是为了消除室内的各种污染物。这样做不仅是为了为产品和工艺创造安全的环境,而且是为了创造一个让工作人员满意的工作环境。无尘车间有两种不同的通风方式:传统的气流系统和单向气流系统。
在通常使用的传统气流系统中,空气供应是由室内不同位置的一个或多个有效过滤器完成的。在单向气流系统中,空气是通过覆盖整个天花板或整个墙壁的有效过滤器提供的。