无尘车间为什么要控制温湿度？主要作用是什么？具体措施是什么？
无尘车间的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确定的，为了满足加工工艺的条件，我们应该考虑人的舒适度。随着空气洁净度要求的提高，对温湿度的技术要求也越来越高，必须达到一定的温湿度水平。
无尘车间的温湿度主要是根据你的加工工艺要求来确定的，为了满足加工工艺的条件，要考虑人的舒适度。随着空气洁净度要求的提高，工艺对温湿度的要求越来越高，必须达到一定的温湿度。例如，在大规模集成电路生产的光刻曝光过程中，作为掩模材料的玻璃与硅片之间的热膨胀系数差异越来越小。直径100um的硅片，当温度升高1度时，引起0。24um线性膨胀，所以它必须有±0.1度的恒温，湿度值一般较低，因为出汗后会对产品有污染，特别是半导体车间，怕钠，不能超过25度。过高的湿度会引起更多的问题。
然而，对于大多数清洁空间，为了防止外部污染的入侵，必须保持内部压力(静压)高于外部压力(静压)。维持压差一般应符合以下原则：
1.高洁净度空间的压力高于低洁净度空间的压力。
2.洁净室之间的门应向高度清洁的房间开放。
3.清洁空间的压力高于不清洁空间的压力。
压差的维持取决于新风量，在这种压差下，新风量应能补偿间隙泄漏的气流。因此，压差的物理含义是空气透过洁净室各种间隙的阻力。
对于湍流洁净室，由于它主要依靠稀释空气来降低室内污染程度，所以它主要采用通风时间的概念，而不是直接使用速度的概念，而且对室内气流速度也有以下要求：
1.风口气流速度不宜过大，与简易空调房相比，速度衰减快，扩散角大。
2.通过水平平面的气流速度(如侧送时的回流速度)不应过大，以免将表面颗粒吹回气流中，造成再污染，一般不适于干燥0.2米/秒。
在我国，"空气净化技术措施"和"洁净车间设计规范"都是这样规定的。
垂直平行流(层流)洁净室≥0.25m/s
水平平行流(层流)洁净室≥0.35m/s
