相信任何企业都非常关心无尘车间的能耗。通过十多年的净化设计和施工经验，上海清洁净化公司解释了半导体无尘房间的室内外能量负荷，并详细说明了半导体无尘房间可能的节能方法。
a.室内负荷：
(A)人员(显热=6 OKcal h.人，潜热=5 OKcal h.人)
(B)光：30W/(黄光区这一数值应高出1.5倍)
(C)机器负荷：输入功率X负荷系数循环冷却水负荷=循环水流量X温差(温差约5℃)排气负荷=排气X温差，其中排气温差可分为三类：1酸气、有机气体或应急排气温差一般为5℃，2非可燃气体排气温差约为10℃(3)，高温机排气装置的排气温差约为2O℃。
(D)风扇的热负荷：输入功率X负荷系数
b.室外负荷：
外部气体输入焓差X室内外空气，这里的外部气体输入包括排气量加上人员通风和正压保持要求。在分析半导体洁净室能耗时，一般工作分为制造1区，晶圆厂区，组装和测试区。通常清洁水平和要求因地区而异，洁净室的结构也会不同，A。H。U系统，如图所示，通常与紊流洁净室组合作为组件或测试区域，其洁净室的设计为紊流型，顶棚不布满过滤器，过滤器面积与顶棚面积之比必须达到一定值才能保证洁净度，而对于空气的分配，过滤器出口通常装有扩散器，以加强过滤空气的扩散面积。至于fab区，目前比较常见的设置有三种，OPENBAYSYSTEM，Fan-FilterUnitSystem和FAN-MODULESYSTEM的原理图分别如图2，图3和图4所示。一般晶圆厂区洁净室型式的选择必须考虑生产，维护，使用寿命和初投资能耗等因素，必须考虑，三种型式各有优缺点，它们的选择不得不考虑，最佳方案的确定目前尚无定论，仍需做研究，一般认为FAN-FILTERUNITSYSTEM和FAN-ModulesSystem具有较大的节能空间。"。
就半导体无尘房间的负荷特性而言，不论上述三个FAB区的无尘室内类型，暖通空调的热负荷远高于一般建筑物的热负荷，其中建筑物的穿透负荷、人员负荷和轻负荷与一般办公室的负荷没有很大差别，但外部气体负荷、机器负荷和风扇负荷占所有暖通空调负荷的90%以上。在这部分，外部气体负荷占45%以上。
