半导体车间测量尘埃粒子浓度等级仪器解决方案

  尘埃粒子计数器是用于测量洁净环境中单位空气体积内尘埃粒子数和粒径分布的仪器，不过在生产过程中环境的情况往往是变化的，原材料的进出、人员的更换以及产品的变化都将对洁净室的洁净程度有所影响。往往在一个班次开始时环境是满足要求的，而在结束时发现粒子数超出了标准。由于人工监测无法提供连续监测数据，因此无法估计系统是在何时偏离了规定工况，更无法估计产品的质量情况。

  在线尘埃粒子计数器优势

  这就违背了保证洁净室空气质量，进而提高产品质量的初衷。赛纳威远程式粒子计数器能够实时监测洁净室内悬浮颗粒的个数并及时报警，7*24小时的连续不间断监测，最大程度保证产品在全流程生产工序中免受污染，提升产品质量，被广泛应用在医药、电子、食品、航空航天、生物工程、精密加工等领域。

  客户一般采用粒子计数器来针对作业环境进行检测，在国内相关检测设备需要符合国家计量总局颁布的 JJF1190-2008《尘埃粒子计数器校准规范》规程的技术要求，常见的尘埃粒子计数器是光散射式(APC)的，测量粒径范围0.1-10μm，此外还有凝聚核式的尘埃粒子计数器(CNC)，可测量尺寸更小的尘埃粒子。本文将介绍光散射式尘埃粒子计数器。

  尘埃粒子计数器工作原理

  空气中的微粒在光的照射下会发生散射，这种现象叫光散射。光散射和微粒大小、光波波长、微粒折射率及微粒对光的吸收特性等因素有关。但是就散射光强度和微粒大小而言，微粒散射光的强度随微粒的表面积增加而增大。

  尘埃粒子计数器工作流程

  首先，真空泵系统使待检测气体按规定流量通过粒子计数器激光头，气体中的尘埃粒子将散射粒子计数器中的激光信号，从而使其中的光学传感器接受并产生脉冲信息号。 其次，脉冲信息号被输出并放大，然后进行数字信号处理，通过与标准粒子信号进行比较，将对比结果用不同的参数表示出来。电脉冲数量对应于微粒的个数，电脉冲的幅度对应于微粒的大小。

  尘埃粒子计数器注意事项

  1、当进口管被盖住或被堵塞，不要启动计数仪。

  2、粒子计数器应该在洁净环境下使用，以防止对激光传感器的损伤。

  3、不要测有可能产生反应的混合气体(如氢气和氧气)。这此气体也可能在计数器内产生爆炸。测这些气体需与厂家联系为取得更多的信息。

  4、没有高压减压设备(如高压扩散器)不要取样压缩空气，所有的颗粒计数仪被设计用于在一个大气压下操作。

  5、水，溶液或其它液体都不能从入口管进入传感器。

  6、颗粒计数仪主要用来净化车间干净的环境， 仪器检测检定当测的地方有松散颗粒的材质，灰尘源，喷雾处时，须保持距进口管至少十二英寸远。以免以上的颗粒及液体污染传感器及管路。

  7、取样时，僻免取样从计数器本身排出来的或被计数器出来的气体所污染的气体。

  8、在连接外置打印机或连接外接温湿度传感器时，需先关掉计数器;当执行打印操作时，打印机上须有打印纸， 长度计量校准实验室否则会损伤打印头。

  洁净室（区）空气洁净度级别表：(ISO14644-1部分内容)