静电是净化车间最难控制的因素之一。静电会增加半导体器件生产中的废品，降低电子设备的可靠性。因此，在半导体器件的生产过程中，各个制造阶段都需要防止静电对器件的作用。
消除静电的方法有很多种。在净化车间工程中，根据防静电环境的要求，经常采用以下方法：
1.选择适当的材料：
净化车间的装饰应采用不易产生静电或产生静电后容易漏出的材料。当各种材料一起使用时，应选择接近电气顺序表中位置的材料。所有材料都可以归为导体或绝缘体。导体是电流可以通过的材料，绝缘体是电流不能通过的材料。
2.接地：
接地是带电导体消除静电的一种普遍、经济、简单、可靠的方法。
(1)对净化车间可能引起静电危害的设备、流动液体、气体或粉末管，应采取防静电接地措施。
(2)电子工业洁净室的围护结构(天花板、地面、墙、柱)应采用防静电装饰，以抑制粉尘的带电吸附。
(3)工艺设备接地。
(4)办公设备应由抗静电材料和地面制成。
(5)工作人员应穿着无尘抗静电服装、鞋、帽子、手套、腕带等。
3,静电中和：
带电体周围的空气(静电)电离后，带电离子在电磁场作用下迁移，带电体吸引异性电荷来中和和消除静电。静电抵消器是一种能产生电子和离子的装置，它在带电体上产生电子、离子和异性电荷，从而消除静电。绝缘材料表面的静电电荷和空气中的静电电荷必须通过静电中和来消除。
4.湿度控制：
通过保持环境中的高相对湿度，薄的湿气层将在该区域中的物体表面上形成，该湿气层将用于提供导电通道，可能产生的电荷通过该导电通道流过湿气层以耗散静电荷在众多消除静电的方法中，室内湿度控制也被考虑用来减少和消除净化车间的静电。此外，湿气层薄可以增加物体表面的润滑性，摩擦发电也会减少。一般来说，湿度越低，产生的电荷越多。 但数据显示，即使在湿度较高的情况下，也会有显著的静电电压，但在高湿环境下，制造商可能会感到非常不舒服，零件可能会生锈，并造成可焊性问题。
