净化车间空间的缩小意味着风量比、换气次数和送风电耗降低。洁净室每平方米能耗是普通空调办公楼的10～30倍。如果清洁体积减少30%，可节省25%的能源。由于万级洁净区的耗电量是10万级洁净区的2.5倍，企业应根据不同空气洁净度等级的要求分别安排，尽量减少洁净室面积，特别是其他洁净室。同时，洁净度要求高的洁净室应尽量靠近空调室，以减少管路长度和能量损失。减少洁净空间容积的实用技术之一是建立一个洁净的隧道或隧道式洁净室，既能满足生产对高洁净环境和节能的双重要求，又能将洁净工艺区的空间缩小到最低限度，大大减少风量。此外，洁净隧道层流罩可抵抗低洁净度操作区对高洁净度工艺区可能存在的干扰和污染。在总风量相同的情况下，发动机罩前的洁净截面面积可扩大5～6倍。同时，可采用洁净室、洁净台、自净化器、微环境等形式实施局部气流保护，如带层流装置的称重台、带层流装置的灌装机等，保持该区域的高洁净度要求，减少洁净空间的体积。
众所周知，在北方地区或干燥的冬季，由静电引起的断层远远大于东南沿海地区或其他季节。因此，在计算机房、半导体净化车间、电子仪器组装车间等重要场所，静电故障远大于东南沿海地区或其他季节，应考虑保持一定湿度，特别是那些有一定湿度控制设备的房间。
2。半导体器件应放置在防静电塑料容器或防静电塑料袋中。这种防静电容器导电性好，能有效防止静电的产生。当然，如果条件允许，它们应该放在金属容器中或用金属箔包装。
3。使用离子气枪、离子头、离子棒等设施，防止一定范围内的静电。
4。铺防静电地板或地毯。目前，这种具有一定导电性的塑料地板或地毯产品能有效抑制行走时产生的静电。
5。操作人员应在手腕上佩戴防静电手带，其应具有良好的接地性能，这是有效的。
