近十年来，科学技术日新月异，对产品的高密度、小型化的需求日益迫切，同时也对无尘车间净化技术的设计和发展提出了高质量的要求。在半导体、精密制造、液晶制造、光学制造等行业中，十级无尘车间十分普遍。
万级无尘车间洁净度等级：要求高，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需要控制，照度、断面风速按设计或规范控制，另外，这种洁净室对静电的要求非常严格。"其中，对湿度的要求特别严重。"因为太干燥的工厂很容易产生静电，导致CMOS集成损坏。一般来说，电子厂房的温度应控制在22℃左右，相对湿度应控制在50%至60%之间。芯片生产车间、集成电路无尘车间和磁盘制造车间是电子制造业洁净室的重要组成部分。由于在制造和生产过程中对室内空气环境和电子产品质量的要求是非常严格的，其主要目标是控制颗粒和浮尘。同时，严格规定了环境的温湿度、新风量和噪声。
万间无尘车间的参数要求通风次数分别为100000≥15次、10000≥20次、1000≥30次和100≥500次。压差：主厂房≥5Pa的平均风速为0。3≤0。10级和100级为5m/s，冬季>16℃，夏季<26℃，夏季±2℃。45×65%GMP粉车间湿度约为50%，电子车间湿度略高，避免静电。噪声≤65 dB(A)，新鲜空气供给占总供气量的10%≤30%，照度300 LX占总供气量的10%≤30%。
万级无尘车间的净化要求：主要依靠洁净气流不断稀释室内空气，室内污染将逐渐排出，以达到净化效果。室内气流速度不均匀，混入回流或旋涡，不同级别净化车间，主要依靠单位时间的送风量来实现。
